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产品称号:芯今天压电陶瓷促动器宏微复合机构

产品型号:P83/P84

产品报价:

产品特点:芯今天压电陶瓷促动器宏微复合机构 P83系列压电驱动测微头是将尺度的测微头与可发生高辨别率位移的压电陶瓷相联合,经过手动调治大范畴的测微头完成13mm大范畴的位移,测微头的辨别率是10μm,再经过控制驱动电压使压电陶瓷响应伸长或延长到预定地位,从而完成对压电陶瓷驱动测微头高辨别率的精调治,

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P83/P84芯今天压电陶瓷促动器宏微复合机构的细致材料:

    芯今天压电陶瓷促动器宏微复合机构P83系列压电驱动测微头是将尺度的测微头与可发生高辨别率位移的压电陶瓷相联合,经过手动调治大范畴的测微头完成13mm大范畴的位移,测微头的辨别率是10μm,再经过控制驱动电压使压电陶瓷响应伸长或延长到预定地位,从而完成对压电陶瓷驱动测微头高辨别率的精调治,压电陶瓷行程范畴可达20μm,压电陶瓷活动的辨别率可<1nm,这个压电驱动测微头可以对元件举行大行程、高精度定位。

     芯今天压电陶瓷促动器宏微复合机构P84系列压电驱动测微头是将测微头与高辨别率的压电陶瓷布局相联合,经过手动调治测微头完成大范畴的位移, 再经过控制驱动电压使压电陶瓷响应伸长或延长到预定地位,从而完成对压电陶瓷驱动测微头的精调治,压电陶瓷行程范畴可达110μm, 压电陶瓷活动的辨别率达2.5nm,测微头的辨别率是10μm,全体布局可以对元件举行大行程、高精度定位。

技能参数

型号

P84.X100S

P84.X100K

P83.X25S

P83.X25K

单元

活动自在度

X

X

 

传感器范例

SGS

SGS

 

标称行程范畴

(0 ~+120 V)

80

20

µm±20%

zui大行程范畴

(-20 ~+150 V)

110

28

µm±20%

测微头行程

13

13

mm

辨别率

7,2.5

1.5,0.5

nm

测微头辨别率

10

10

um

闭环线性度

0.15

0.2

%F.S.

反复定位精度

0.05

0.1

%F.S.

推/拉力

16,4

20,5

N

刚度

1

2

N/mm±20%

静电容量

1.8

1.8

μF±20%

材质

钢、铝

 

分量

0.1

0.1

Kg±5%

出线长

1.5

1.5

m±10mm

 

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