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P79系列Z向聚焦压定位电位移台代价 P79系列Z向样品起落压电扫描台为一维Z轴微动平台,它的挪动范畴可达187.5µm,定位辨别率可达3nm。 P79平台可对样品举行Z轴疾速精细的聚焦调治,阶跃工夫达毫秒量级。次要用于配套宏动XY轴活动扫描平台或压电马达平台利用,在宏动平台举行样档次置的粗调后,再经过P79压电扫描台举行样档次置的调解,定位精度达j9bc量级。《检察更多》
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