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P83.X一维X向压电宏微复合台 P83为尺度测微头与可发生高辨别率位移的压电陶瓷机构相联合，经过手动调治大范畴的测微头完成13mm大范畴的挪动，再经过控制驱动电压，使压电陶瓷机构响应伸长或延长到预定地位，从而完成对压电陶瓷驱动测微头高辨别率的精调治。《检察更多》

P84.X一维X轴压电宏微复合台： P84为尺度测微头与可发生高辨别率位移的压电陶瓷机构相联合，经过手动调治大范畴的测微头完成13mm大范畴的挪动，再经过控制驱动电压，使压电陶瓷机构响应伸长或延长到预定地位，从而完成对压电陶瓷驱动测微头高辨别率的精调治。《检察更多》

压电平台是接纳压电陶瓷驱动的j9bc定位台，无摩擦、无空回柔性导向机构，有限元剖析优化柔性搭钮机构，柔性导向体系具有超高的导向精度，高刚度，高负载，无磨损，免维护的特点，内置精细位移传感器举行全闭环反应，确保了平台具有精良的控制精度、定位精度、辨别率和波动性，呼应速率快，波动工夫达毫秒量级，平台无磁性也不受磁场搅扰。XP-630，接纳压电陶瓷直驱布局，无摩擦柔性搭钮机构设计的一维压《检察更多》