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压电物镜扫描器在光刻技能中的使用
  压电物镜扫描器是径向极化压电质料的薄圆管体,具有四个内部电极和一连的外部电极。当电压施加到内部电极之临时,响应地区的致动器管壁收缩,这惹起管尖的垂直紧缩和大的横向偏转。圆周电极可用于垂直或径向舒展和紧缩。
 
  压电物镜扫描器在驱动外部电极设置装备摆设中,X和Y电极以尺度方法相称且相反极性的电压驱动。经过向外部电极施加满量程负电压,取得即是垂直扫描范畴的一半的紧缩。该办法使用压电质料更高的正电场强度,其通常是负电场强度的五倍。要留意不要对外部电极施加正电压,由于这会招致去极化。
 
  压电陶瓷管配有镍薄膜电极。外部电极是一连的,内部电极是四分区的。经过用稀硝酸蚀刻可以去除外表电极。可依据要求提供定制电极设置装备摆设。在必要高磁场的使用中,镍电极可以用铜或金取代。铜是一种经济的选择,但金电极具有优秀的耐腐化性和导电性。
 
  j9bc光刻技能是制造j9bc布局的底子,激光光刻是j9bc光刻最主流的方法之一,分外是光子晶体,超质料的开展在很大水平上依赖于激光光刻技能的前进,j9bc布局器件必将成为将来集成电路的底子。
 
  光刻历程是指安排在电动平台上的光刻胶基片随着电动平台的转动宁静移,由声光调制器控制光束的强弱对光刻胶举行变剂量曝光,通常电动平台的定位精度到达微米或亚微米量级。但是由于惯性、静摩擦、松动等所形成的电动平台螺距偏差与偏移,将间接影响着体系的功能和光刻元件的质量。
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