压电偏转镜是基于平行活动学设计,具有共面轴及挪动面。四个实行机构为四支压电促动器,以90°角中分安排,成对的差分控制散布。
压电偏转镜的定名实践由它的驱动原理及使用目标相联合而来的。“压电”指的是它的驱动原理,即使用PZT压电陶瓷来作为驱动源从而发生活动;而“偏转镜”则是它的使用目标,即用来使镜片发生偏转活动。
但通常状况下,压电偏转镜自己是不带有镜片的,经过粘接或镜持夹持方法将镜片牢固于压电偏转镜的挪动台面上。由于压电偏转镜对光路的疾速控制造用,也常被称作疾速转向镜。也常常被称作为压电倾斜镜、压电快反镜、压电反射镜、摆镜等。
压电偏转镜便是指将PZT压电陶瓷集成于机器柔性搭钮,再将除活动面外的其他整个布局封装进机器外壳,从而可以发生偏转活动的活动平台产品。它将PZT压电陶瓷的直线微米级(μm,1μm=0.001mm)的活动,转换为机器部件的毫弧度级(mrad,17mrad=1°)偏转活动。
反射镜片安置于压电偏转镜的活动台面上,压电偏转镜活动台面的偏转动员反射镜的偏转活动。依据压电偏转镜的活动维度,一样平常可分为三类,即一维θx轴偏转活动、二维θxθy偏转活动、三维θxθy偏转及Z向活动。
一维θx压电偏转镜分为两种布局,一种为单个压电促动器驱动、单搭钮支持型,搭钮确定了轴心点,并更加了作用于压电促动器的预紧力。该布局的好处是布局复杂、体积玲珑、性价比高。
另一种为双压电促动器驱动型,即由两支陶瓷促动器的推拉活动来驱动平台台面偏转,这种布局的好处是可承载更大,不受事情情况温度变革的影响。