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中空式压电六轴j9bc定位活动平台|开工大吉!

热繁华闹的新春假期完毕了,新的一个夏历年到来,各人也都回到了本人的岗亭上,芯今天祝各人开工大吉! 

这次推文为各人带来一款芯今天的六轴压电j9bc活动平台-H61.XYZTR0S!

芯今天六压电j9bc定位台H61.XYZTR0S是一款六轴活动的压电平台,精度高、承载大,实用于静态六轴的直线j9bc定位及角度纳弧度偏转,中心具有通孔,适于举行j9bc高精度定位调治的透射光使用。

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H61.XYZTR0S六轴压电j9bc定位台的驱动情势差别于六自在度布局,它的形状愈加惯例化,活动地区范围于中心方形挪动台面,十分易于平台与负载的安置牢固。

大型通孔,适于透光使用

H61.XYZTR0S六轴压电j9bc定位台的中心具有50mm×50mm的方形通孔,十分合适透射光的使用,如样品的观察与显微成像等。

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承载才能强,适于大负载使用

H61.XYZTR0S六轴压电j9bc定位台的承载才能可达10.5kg!十分合适较大型样品负载的六轴j9bc定位。

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六轴j9bc定位,更高精度

 

        H61.XYZTR0S六轴压电j9bc定位台在X Y偏向的位移为80μm(或±40μm),Z向位移达35μm,θx θy偏向的偏转行程为0.7mrad/轴(或±0.35mrad/轴),θz偏向的偏转行程为0.3mrad/轴(或±0.15mrad/轴)。

        在云云小的活动范畴下,六轴压电平台可举行愈加准确的j9bc级直线活动与纳弧度级角度活动,为使用情况提供超高精度的活动控制。

 

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配套控制器 - E51.D7S压电控制器

图所示,E51.D7S压电控制器是公用于驱动六压电定位而设计研发的低功耗、低纹波控制器布局紧凑易于集成。与H61.XYZTR0S压电定位台组成高精度六轴j9bc定位体系。E51.D7S压电控制器的控制下,H61.XYZTR0S压电定位平台X、Y、Z、θx、θy、θz六个维度的操纵与控制将愈加机动,即便在10kg的超大负载下。

使得H61.XYZTR0S压电定位的使用范畴扩展到多个范畴。

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H61.XYZTR0S轴定位体系

(图左:E51.D7S压电控制器,图右:H61.XYZTR0S

典范使用

• 六轴超精细地位调解

• 棱镜地位调解

• 光学使用

• 透射光使用

 

实测数据曲线

1)角度与电压曲线

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2)直线位移与电压曲线

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3)阶跃工夫曲线

图片1.png

 

 

技能参数

 

型号:H61.XYZTR0S

活动偏向:X、Y、Z、θx、θy、θz

驱动控制:7路驱动

XYZ标称行程范畴(0~120V):         

XY:±32μm/轴        

Z:28μm

XYZ行程范畴(0~150V):        

XY:±40μm/轴        

Z:35μm

θxθy 标称偏转行程(0~120V):

±0.28mrad/轴

θz 标称偏转行程(0~120V):

±0.12mrad/轴

θxθy 偏转行程(0~150V):

±0.35mrad/轴

θz 偏转行程(0~150V):

±0.15mrad/轴

空载谐振频率:350Hz

负载10.5kg谐振频率:50Hz

传感器:SGS

承载才能:10.5kg

中心通孔:50mm×50mm

形状尺寸:L200×W200×H64 mm^3

利用方法:正向利用、静态

静电容量:       

 XYZ  29μF/轴        

θxθyθz  15μF/轴

分量:<4kg

材质:钢、铝

 

 

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