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新品介绍|XD107系列压电扫描台 - 三维j9bc活动
XD107系列压电扫描台是一款定制设计的三维活动的压电平台,具有特别的负载安置孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔,实用于样品显微成像/扫描、微j9bc范畴的瞄准、j9bc聚焦、丈量等使用。

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XD107系列压电扫描台外部接纳机构缩小式驱动原理,内置高功能压电陶瓷、无摩擦柔性搭钮导向机构,可完成XY向100μm/轴、Z向80μm位移。具有十分高的控制精度,辨别率和波动性都可达nm级,定位呼应工夫也可达ms级。
该压电扫描台可依据使用需求选配闭环传感器,以获取更高的精度。

产品特点

•XYZ三维活动
•行程可达100μm
•承载才能0.4kg
•中心通孔50×50mm

产品使用

•扫描显微镜
•掩模/晶圆定位
•干预、器量衡学
•生物技能
•微操纵

引线毗连器

XD107系列压电扫描台的毗连器共有2组,每组有3个,一组用于电压驱动信号的传输,一组用于传感反应信号的传输。毗连器的设置装备摆设次要取决于所选配的压电控制器的毗连器范例。XD107系列的毗连器是为了婚配芯今天E00/E01系列压电控制器(下方右图),若改换其他压电控制器,可改换为其他响应的毗连器范例。

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表面结果

电压位移曲线:下图中为XD107系列压电扫描台的XY向的驱动电压与位移曲线。

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线性度曲线

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技能参数

型号:XD107.XY100Z20S
活动偏向:X、Y、Z
标称行程范畴(0~120V):XY80/Z64μm
行程范畴(0~150V):XY100/Z80μm
传感器范例:SGS
闭环辨别率:3nm
闭环线性度:0.1%F.S.
闭环反复定位精度:0.02%F.S.
俯仰/偏航/转动:≤30μrad
空载谐振频率:XY220/Z160Hz
带载400g谐振频率:XY110/Z80Hz
承载才能:0.4kg
静电容量:XY3.6/Z1.8μF
材质:钢、铝
通孔尺寸:50×50mm
形状尺寸:94×94×24.5mm
分量:420g
使用举例

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