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芯今天压电宏微复合活动平台 - 毫米行程、j9bc精度
传统的丝杠导轨活动平台以其耐用牢靠的特点普遍的使用于产业消费、科研技能之中,但是随着产业技能的提拔以及科研的前进,宏动行程低精度的活动平台已无法满意越来越高精度的利用要求,宏动行程高精度调治的产品与方案应运而生 - 压电驱动宏微复合机构。


压电驱动宏微复合的技能方案,办理了其要求行程大、定位精度初等技能困难,同时还具有了体积小、呼应速率快、着力大等技能上风。
芯今天压电宏微复合机构是手动调治与电压调治相联合的超精细定位台。控制布局分为两局部,一局部为手动调治台,经过千分尺举行调治;另一局部为压电j9bc定位台,外部由压电陶瓷驱动,经过施加电压来控制。在粗调机构中,可调解的直线活动行程为mm级,辨别率为10μm。在精调机构中,可调解的直线活动行程可达几十~几百μm级,辨别率为nm级。经过两种调治方法联合来到达毫米级行程、j9bc级定位精度。




构成布局


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压电宏微复合平台是将压电平台与手调或其他电动平移台相联合,且该联合不会丧失压电平台的高辨别率。使用手调千分尺的压电宏微复合平台,一样平常手调行程为13mm,且它的辨别率达10μm,在压电平台精调行程范畴内。在手动举行粗调后,再使用压电平台举行j9bc级的精调。
芯今天尺度的压电宏微复合机构是在手调千分尺的底子上集成压电微动活动平台,并配以轨道载物台面,手调千分尺可举行13mm行程的微观调治,压电活动平台可举行25μm、100μm或250μm行程的j9bc级微观调治,既包管毫米级行程范畴,又包管了调治的高精度及便捷性。




特点
宏动行程13mm,辨别率达10µm
压电精调行程25µm、100µm或250µm
辨别率达0.5nm
压电调治可选配闭环传感器




压电宏微复合平台(无载物挪动台面)
无载物挪动台面的压电宏微复合平台的功效相似于一个直线促动器,该促动用具有千分尺直线粗调,同时配有压电直线j9bc级精调。用户可将其集成到自有的布局体系中,作为促动器利用。
无载物挪动台面的压电宏微复合平台不行间接举行组维,但可选择多个举行共同利用。

压电宏微复合台(无挪动台面)



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13mm千分尺行程

压电行程可选25μm、100μm、250μm

j9bc至亚j9bc级辨别率

可选配传感器


压电宏微复合平台(装备载物挪动台面)
装备载物挪动台面的压电宏微复合平台提供了负载的机器安置接口,在挪动台面上装备有多种安置螺纹孔。
多个该压电宏微复合平台可举行组合,以构成二维或三维粗精调活动平台。
 

压电宏微复合台(装备挪动台面)



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13mm千分尺行程

压电行程可选25μm、100μm、250μm

j9bc至亚j9bc级辨别率

提供负载机器安置接口

可选配传感器



多维组合压电宏微复合平台
压电宏微复合平台的活动自在度在1至3维间自在选择。下图中为精调25μm行程的二维压电宏微复合平台,以及行程为100μm的三维压电宏微复合平台。
组合式宏微复合平台十分实用于多维大行程、高精度的定位,比方光纤瞄准、光路瞄准等。


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压电宏微复合平台技能参数


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挪动台面参数



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平直度:<3µm/13mm

导轨:交织滚柱导轨

台面尺寸:65mm×65mm



真空兼容版
关于真空情况使用,芯今天选用真空兼容组件,构成真空兼容的压电宏微复合平台,如下图所示,左侧为精调250μm的真空版XY二维压电宏微复合平台,右侧为精调行程250μm的三维真空版本。


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紧凑型三维压电宏微复合平台
关于体系使用空间十分受限的情况,芯今天也可提供紧凑型三维压电宏微复合平台,该类平台的多维版本具有更紧凑的形状尺寸。别的,该活动平台接纳的千分尺具有两级调治,可先辈行5mm范畴内的粗调,再举行0.2mm范畴内的精调。最初是j9bc级精度的压电精调,压电精调行程为18μm。

紧凑型压电宏微复合台



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5mm千分尺粗调行程

0.2mm千分尺精调行程

18μm压电行程

j9bc至亚j9bc级辨别率

 
使用案例
下方左图:光学瞄准 - 带载压电偏转镜举行光学途径调治
下方右图:j9bc光刻 - 带载样品做XY二维粗精地位调治


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压电螺钉活动平台
除上述范例的压电宏微复合平台外,芯今天也可提供压电螺钉马达驱动的活动平台,可复杂的了解为,将上述压电宏微复合平台中的千分尺交换为压电螺钉。该类平台不但活动行程大(可达26mm),定位精度也十分高,直线步长可小于20nm。


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